由国家自然科学基金委员会（以下简称自然科学基金委）信息科学部主办的“光学微加工技术发展现状及趋势研讨会”于2020年11月12-14日在四川成都召开。

王承文副主任在开幕式致辞中介绍了自然科学基金委深化改革措施及进展情况、举办此次研讨会的背景和目的，指出光学微加工是一项复杂的多学科、高技术集成的系统工程，是带动物理、化学、材料等基础学科发展的引擎。光刻技术也是集成电路、光子芯片、微纳传感、量子信息等前沿科学领域的关键科学工具。长期以来，我国的光刻技术遵循传统技术路线，与国际上存在很大差距，发展具有自主知识产权的新型高端光学微加工技术具有重要战略意义。希望与会专家集思广益，围绕领域发展前沿和国家重大战略需求，深入探讨光学微纳加工关键技术背后的基础科学问题，为新型光学微加工技术的研究和发展贡献力量。

与会专家围绕光学微加工领域的国际最新研究进展和发展趋势、国内的研究基础、面临的关键科学问题以及重要应用前景等进行了深入的讨论，并从光源、光学系统、对准套刻、光刻胶、系统集成等方面凝练了有可能实现突破的重要研究方向。

自然科学基金委交叉科学部二处处长潘庆在发言中强调了光学微加工技术在孕育学科交叉创新方面的重要性，希望与会专家积极为自然科学基金委在该领域资助项目提出建议。

来自全国31所高校和科研单位的51位专家学者参加了研讨会，为光学微加工及其相关领域的学者搭建了交流平台，对促进我国光学微加工领域的研究发展以及部署新规划的可行性等提供了参考。自然科学基金委信息科学部常务副主任张兆田和相关科学处人员参加了会议。